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高周波電源 (radio frequency power supply)

 交流電源の中で,出力電力の周波数が数十kHz以上と高いもの.
 任意の負荷インピーダンスに整合が取れたり,負荷インピーダンスとして,ショートからオープンまでの値を保証しているものもある.


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