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DESIGN WAVE MOOK 【シリーズ一覧へ】

動作原理,設計・製造工程から応用事例まで

MEMS開発&活用スタートアップ

Design Wave Magazine編集部 編
B5変型判 216ページ
定価2,592円(税込)
JAN9784789837163

2004年12月1日発行

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 「MEMS(micro electoro mechanical system)」や「シリコン・マイクロマシン」といったことばをよく耳にするようになりました.実際,この技術を応用したデバイスは,インク・ジェット・プリンタや自動車のエア・バッグ・システム,プロジェクタなど,さまざまな製品に搭載されています.小型,高精度,低消費電力という特徴を持つMEMSデバイスの応用分野は,今後さらに広がると期待されています.
 本書は,MEMS技術の入門書であり,各種MEMSデバイスの動作原理や製造プロセス,応用について,わかりやすく説明しています.製造プロセスについては実際のMEMS工場の装置の写真を多用し,また応用については具体的な設計事例を紹介しています.


目次

第1部 MEMSデバイス設計・製造編
 第1章 MEMS」の世界へようこそ
  1.発想+調査+実行×失敗=成功(または成長)
  2.LSIとMEMS,似て非なる設計工程
  3.「浅く広い知識」と「広くて深い人脈」を
  コラム 身を守る化学のお話--強酸と混酸
  コラム MEMS技術の初心者へ,お勧めの書籍

 第2章 MEMS圧力センサ設計

 第3章 MEMS圧力センサ製造工程
  1.薄膜形成
  2.フォトリソグラフィ
  3.ドライ・エッチング
  4.測定・評価
  5.切断

 第4章 身近なMEMSデバイスの動作原理を理解する
  インクジェット・プリンタ・ヘッド
  加速度センサ
  MEMSジャイロ・センサ
  GLV(Grating Light Valve)
  DMD(Digital Micromirror Device)
  RF MEMSスイッチ

 第5章 マイクロセンサの原理と応用

 第6章 マイクロアクチュエータの原理と応用

 第7章 マイクロシステムの原理と応用

 第8章 RF MEMSの原理と応用
  1.RF MEMSスイッチはどんなもの?
  2.アンテナ・伝送線路の製作

 第9章 MEMS設計ツール活用チュートリアル
  1.レイアウト設計を行う
  2.3次元形状の検証と動作解析
  3.高周波特性の検証
  4.システム・シミュレーション

第2部 MEMSシステム設計編
 第1章 MEMS加速度センサをシステムに組み込む
  1.加速度センサの基本原理
  2.液晶プロジェクタへの応用:精度の良い台形ひずみ補正
  3.地震計への応用:バッテリ寿命を延ばす低消費電力設計
  4.歩数計への応用
  コラム PWMをパワー・サイクリングに用いるときは要注意
  コラム 電荷保存法による性能の改善

 第2章 MEMS加速度センサで無線センサ・ネットワークを構築する
  1.使用した汎用加速度センサの概要
  2.無線センサ・ネットワークを構築する

 第3章 MEMSジャイロ・センサをシステムに組み込む
  1.ジャイロ・センサの原理と構造
  2.リング型ジャイロ・センサの構造と製造プロセス
  3.ジャイロ・センサを使ったシステム
  コラム 日本人エンジニアと英国人エンジニア(その1)
  コラム 日本人エンジニアと英国人エンジニア(その2)

 第4章 MEMS慣性デバイスのキラー・アプリ
  1.表面マイクロマシーニングとパッケージ技術
  2.エア・バッグに続くキラー・アプリは何?

 第5章 GLVデバイスの製造からアプリケーションまで
  1.GLVの基礎知識
  2.GLVデバイスの応用例
  3.光通信用ダイナミック・ゲイン・イコライザに適用
  コラム シリコンバレーではどのようにして新ビジネスを獲得するか

  書評 RF MEMS Theory,Design,and Technology
  書評 RF MEMS and Their Applications



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