目次

第1部　MEMSデバイス設計・製造編
　第1章　MEMS」の世界へようこそ
　　1.発想+調査+実行×失敗=成功(または成長)
　　2.LSIとMEMS，似て非なる設計工程
　　3.「浅く広い知識」と「広くて深い人脈」を
　　コラム　身を守る化学のお話--強酸と混酸
　　コラム　MEMS技術の初心者へ，お勧めの書籍

　第2章　MEMS圧力センサ設計

　第3章　MEMS圧力センサ製造工程
　　1.薄膜形成
　　2.フォトリソグラフィ
　　3.ドライ・エッチング
　　4.測定・評価
　　5.切断

　第4章　身近なMEMSデバイスの動作原理を理解する
　　インクジェット・プリンタ・ヘッド
　　加速度センサ
　　MEMSジャイロ・センサ
　　GLV(Grating Light Valve)
　　DMD(Digital Micromirror Device)
　　RF MEMSスイッチ

　第5章　マイクロセンサの原理と応用

　第6章　マイクロアクチュエータの原理と応用

　第7章　マイクロシステムの原理と応用

　第8章　RF MEMSの原理と応用
　　1.RF MEMSスイッチはどんなもの?
　　2.アンテナ・伝送線路の製作

　第9章　MEMS設計ツール活用チュートリアル
　　1.レイアウト設計を行う
　　2.3次元形状の検証と動作解析
　　3.高周波特性の検証
　　4.システム・シミュレーション

第2部　MEMSシステム設計編
　第1章　MEMS加速度センサをシステムに組み込む
　　1.加速度センサの基本原理
　　2.液晶プロジェクタへの応用：精度の良い台形ひずみ補正
　　3.地震計への応用：バッテリ寿命を延ばす低消費電力設計
　　4.歩数計への応用
　　コラム　PWMをパワー・サイクリングに用いるときは要注意
　　コラム　電荷保存法による性能の改善

　第2章　MEMS加速度センサで無線センサ・ネットワークを構築する
　　1.使用した汎用加速度センサの概要
　　2.無線センサ・ネットワークを構築する

　第3章　MEMSジャイロ・センサをシステムに組み込む
　　1.ジャイロ・センサの原理と構造
　　2.リング型ジャイロ・センサの構造と製造プロセス
　　3.ジャイロ・センサを使ったシステム
　　コラム　日本人エンジニアと英国人エンジニア(その1)
　　コラム　日本人エンジニアと英国人エンジニア(その2)

　第4章　MEMS慣性デバイスのキラー・アプリ
　　1.表面マイクロマシーニングとパッケージ技術
　　2.エア・バッグに続くキラー・アプリは何?

　第5章　GLVデバイスの製造からアプリケーションまで
　　1.GLVの基礎知識
　　2.GLVデバイスの応用例
　　3.光通信用ダイナミック・ゲイン・イコライザに適用
　　コラム　シリコンバレーではどのようにして新ビジネスを獲得するか

　　書評　RF MEMS Theory,Design,and Technology
　　書評　RF MEMS and Their Applications